microelectromechanical Systems (MEMS) میکرو الکترومکانیک سیستم ها ،شامل سنسورهای حساسی می باشند.در بال این سنسورها با تبدیل فشار و یا تنش برشی در به سیگنالهای الکتریکی جدایش جریان را تشخیض داده ...